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- 2023-05-28 发布于四川
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本发明提供了一种改善晶硅双面电池白点的退火方法,所述退火方法包括以下步骤:(1)进舟;(2)一次抽真空;(3)吹扫;(4)二次抽真空;(5)升温氧化;(6)恒温氧化;(7)回压;(8)出舟;从步骤(2)一次抽真空至步骤(6)恒温氧化前处于持续升温阶段。本发明所述退火方法优化了退火工艺,整个过程中从步骤(2)至步骤(6)前处于持续升温阶段,无需先升温再降温,节省了工艺时间,提高了产能,同时明显减少了双面电池的白点比例,有利于工业化规模生产,具有较好的工业应用前景。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112382702 B
(45)授权公告日 2022.08.16
(21)申请号 202011224663.3 (56)对比文件
(22)申请日 2020.11.05
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