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本发明公开了一种用于半导体的全自动AA设备,包括工作板,所述工作板上分别设置输送模组、检测模组、夹取模组、收料模组、静电消除器和气源模组,所述输送模组设置与所述工作板中部,所述输送模组一端顶上设置静电消除器,所述输送模组另一端顶上设置夹取模组,所述输送模组一侧设置检测模组,所述输送模组另一侧平行设置所述收料模组,所述检测模组一侧设置气源模组,所述检测模组设置为AA装置,所述AA装置包括AA架、第一AA组件,第二AA组件和检测组件,所述AA架设置与所述工作板上,所述AA架上设置第一AA组件,所述第
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112363041 B
(45)授权公告日 2021.09.28
(21)申请号 202011315590.9 G01R 1/04 (2006.01)
(22)申请日 2
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