一种AlGaN基紫外发光二极管及其制备方法.pdfVIP

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  • 2023-05-28 发布于四川
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一种AlGaN基紫外发光二极管及其制备方法.pdf

本发明公开了一种AlGaN基紫外发光二极管及其制备方法,涉及半导体器件技术领域,该二极管包括衬底及设于衬底之上的N型半导体层,二极管还包括:依次层叠于N型半导体层之上的低温应力释放层、阱前电子阻挡层、阱前电子减速层、量子阱发光层、空穴储备层、P型半导体层与P型欧姆接触层;其中,阱前电子阻挡层为组分阶梯变化的AlGaN多层结构,阱前电子减速层为AlGaN/AlGaN超晶格结构,空穴储备层为多阶组分阶梯递减的AlGaN/AlGaN超晶格结构。本发明解决了现有技术中发光二极管中有源区内空穴浓度较低,有

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115832136 A (43)申请公布日 2023.03.21 (21)申请号 202310146521.7 (22)申请日 2023.02.22 (71)申请人 江西兆驰半导体有限公司 地址 33

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