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本发明涉及一种从微电子衬底选择性去除氧化铝或氮化铝材料的方法,所述方法包含使所述材料与水性蚀刻组合物接触,所述水性蚀刻组合物包含:含氟化物源的蚀刻剂;和金属腐蚀抑制剂;其中所述组合物的pH在3到8范围内。还描述水性蚀刻组合物和用途。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112384597 A
(43)申请公布日 2021.02.19
(21)申请号 201980045475.3 (74)专利代理机构 北京律盟知识产权代理有限
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