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本发明公开了一种大视场波前测量装置及方法、设备及介质，所述装置包括设置有成像靶面的图像传感器，所述成像靶面的前方安装设置有掩膜板，所述掩膜板上按预设的分布密度均匀设置有复数个微型通光孔，微型通光孔的直径d10λ，且直径d与掩膜板距成像靶面距离满足关系：同时L＞＞25λ，λ为光线波长。本发明可利用普通汇聚镜头成像特点，在低成本情况下，实现大视场波前测量，测量时通过设计带有设定密度的微型通光孔的掩膜板，结合互相关计算方法，突破了传统波前测试对于准直光线的依赖，可根据所采用的普通镜头视场角的不同，实
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112414565 B
(45)授权公告日 2021.09.21
(21)申请号 202011399448.7 (56)对比文件
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