一种应用于多种金属制程的兼容、环保型水系光刻胶剥离液及其制备方法.pdfVIP

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2023-05-29 发布于四川
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一种应用于多种金属制程的兼容、环保型水系光刻胶剥离液及其制备方法.pdf

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本发明公开了本发明涉及一种应用于多种金属制程的兼容、环保型水系光刻胶剥离液及其制备方法，其组分按重量百分比计，包括：1‑15wt％胺，5‑80wt％醚，10‑50wt％超纯水，0.01‑5wt％添加剂A，0.01‑5wt％添加剂B，0.01‑5wt％添加剂C。该兼容、环保型水系剥离液的制备方法为：将添加剂A和添加剂B先用超纯水混合均匀，再加入添加剂C，待溶液澄清后，再加入到混配罐中，最后添加胺，搅拌后制成母液，再加入溶剂醚或回收液，最后混合均匀制成成品药液。本发明剥离液剥离能力强，能有效的去除光

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112415869 A (43)申请公布日 2021.02.26 (21)申请号 202011410024.6 (22)申请日 2020.12.05 (71)申请人无锡高琪微电子材料科技有限公司