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2023-05-29 发布于四川
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测量装置和测量方法.pdf

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测量装置300包括：激光装置110；分支部件120，将调频激光束分支为参考光和测量光；差拍信号生成部件150，通过混合参考光和反射光来生成差拍信号，该反射光是照射到待测对象10上的测量光；第一分析部件310，基于差拍信号来分析与参考光和测量光之间的传播距离的差相对应的第一信号分量；第二分析部件320，基于差拍信号来分析与光学共振腔的共振腔频率相对应的第二信号分量；以及计算部件180，计算参考光和测量光之间的传播距离的差。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112433220 A (43)申请公布日 2021.03.02 (21)申请号 202010742404.3 (22)申请日 2020.07.29 (30)优先权数据 2019-1537