原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明提供载体板的去除方法，从工件容易地去除载体板。当从借助设置在载体板的整个正面上的临时粘接层而与该载体板的该正面的除外缘部以外的区域粘接的工件将该载体板去除时使用该方法，其中，该载体板的去除方法包含如下的工序：临时粘接层去除工序，将该临时粘接层的外缘部的一部分或全部去除；保持工序，在去除了该临时粘接层的该外缘部的一部分或全部之后，利用保持单元从上方对该工件进行保持；以及载体板去除工序，在从上方对该工件进行了保持的状态下，利用推压部件从该载体板的该正面侧向该载体板的该外缘部施加朝下的力而使该载
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112435950 A
(43)申请公布日 2021.03.02
(21)申请号 202010841868.X
(22)申请日 2020.08.20
(30)优先权数据
2019-1533
文档评论（0）