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本发明提供了一种三端超晶格存算一体器的阈值电压调节方法,分别在下电极层与超晶格薄膜之间、超晶格薄膜与上电极层之间设置逆压电层;利用两个逆压电层在施加不同的电压时所产生的不同拉伸形变,对接触的超晶格薄膜产生不同的拉应力,进而来调节超晶格薄膜中的相变材料发生原子层翻转的能量势垒。本发明还提供一种通过上述阈值电压调节方法实现“与”逻辑运算的方法,当超晶格存算一体器的上电极层与第一逆压电层、第二逆压电层同时施加电压脉冲时,超晶格薄膜才发生阻值的突变,即输出为“1”。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112397646 B
(45)授权公告日 2022.08.12
(21)申请号 202011200846.1 (51)Int.Cl.
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