原创力文档- 9
- 0
- 约1.98万字
- 约 20页
- 2023-05-29 发布于四川
- 举报
本发明的一个实施方式的表面应力传感器的受体层的清洁方法，在检测由设置于薄膜的表面的受体层引起的所述薄膜的表面应力的变化的表面应力传感器中，使所述薄膜的至少一部分的表面区域发热、或者从所述表面应力传感器的外部对所述受体层提供热。由此，能够在尽可能避免结构复杂化的同时简单地进行利用了压电电阻的检测类型等表面应力传感器的高效的清洁。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112437873 A
(43)申请公布日 2021.03.02
(21)申请号 201980047543.X (74)专利代理机构 隆天知识产权代理有限公司
文档评论（0）