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一种晶圆检测设备及晶圆检测方法.pdfVIP

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  • 2023-05-29 发布于四川
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一种晶圆检测设备及晶圆检测方法.pdf

    本发明提供一种晶圆检测设备及晶圆检测方法，涉及晶圆检测领域。一种晶圆检测设备，包括操作台，所述操作台的上侧表面固定连接有防护罩，所述操作台上侧表面的右侧固定连接有支架，所述操作台上侧表面左侧的前后两方均固定连接有支撑板，后侧的所述支撑板的右侧表面转动连接有两个丝杆，两个所述丝杆的杆壁均螺纹连接有移动板，上侧的所述移动板的下侧表面固定连接有喷气壳。本发明通过设置喷气壳和吸气壳，在晶圆进行检测的时候，喷气壳将晶圆表面的灰尘吹下，而吸气壳接着将吹出的灰尘进行吸收，从而避免灰尘会再次落在晶圆的表面或者操

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115815152 A (43)申请公布日 2023.03.21 (21)申请号 202211439266.7 (22)申请日 2022.11.17 (71)申请人 无锡芯启博科技有限

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