测试探针清洁方法及摩阻刮除、粘性吸附和探针固定方法.pdfVIP

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2023-05-30 发布于四川
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测试探针清洁方法及摩阻刮除、粘性吸附和探针固定方法.pdf

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测试探针清洁方法及摩阻刮除、粘性吸附和探针固定方法，涉及半导体技术领域，本发明为了解决现有的如何有效代替人工清洁和如何将探头彻底清洁干净的问题。一种测试探针清洁装置，包括清洁构件、夹持构件、测试插座、测试基座和测试探针；所述清洁构件上方设置有夹持构件，所述清洁构件下方设置有测试插座，所述测试插座安装在测试基座上，所述夹持构件能够通过传动机械臂移动控制测试插座上方的清洁构件，能够使清洁构件移动至测试插座内，并与测试插座内的测试探针的探头贴合抵靠。本发明解决了现有的如何有效代替人工清洁和如何将探头彻

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112462104 B (45)授权公告日 2022.03.04 (21)申请号 202011365614.1 (56)对比文件