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吸附装置、成膜装置、吸附方法、成膜方法及电子器件的制造方法.pdfVIP

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  • 2023-05-30 发布于四川
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吸附装置、成膜装置、吸附方法、成膜方法及电子器件的制造方法.pdf

    根据本发明，在对准时，被吸附于静电吸盘的基板不与掩模接触，以便在对准以后，基板和掩模这两者被充分吸附于静电吸盘。本发明的吸附装置包含有：吸附第一被吸附体和第二被吸附体且具有第一电极和第二电极的静电吸盘；对第一电极和第二电极分别给予规定的电位的电位给予部；以及控制电位给予的电位控制部，电位控制部，在被吸附的第一被吸附体和没有被吸附的第二被吸附体的相对位置调整时，对第一电极和第二电极分别给予第一电位和第二电位，在相对位置调整之后，在隔着第一被吸附体吸附第二被吸附体时，进行控制，以使第一电位和第二电位

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112458437 A (43)申请公布日 2021.03.09 (21)申请号 202010926186.9 C23C 14/50 (2006.01)

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