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体声波谐振器和滤波器装置.pdfVIP

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  • 2023-05-30 发布于四川
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体声波谐振器和滤波器装置.pdf

    本公开提供一种体声波谐振器和滤波器装置，所述体声波谐振器包括：基板；第一电极，设置在所述基板上；压电层，设置为覆盖所述第一电极的至少一部分；第二电极，设置为覆盖所述压电层的至少一部分；以及插入层，设置在所述压电层的部分区域之下。所述第一电极在有效区中的厚度小于所述第一电极在所述有效区之外的区域中的厚度，在所述有效区中，所述第一电极、所述压电层和所述第二电极彼此重叠。所述插入层的内侧表面的倾斜角度与所述插入层的外侧表面的倾斜角度不同。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112468107 A (43)申请公布日 2021.03.09 (21)申请号 202010893238.7 H03H 9/64 (2006.01) (22)申请日 20

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