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一种靶材的清洗方法.pdfVIP

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  • 2023-05-30 发布于四川
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一种靶材的清洗方法.pdf

    本发明公开了一种靶材的清洗方法，干冰喷枪组与清洁台相对移动，使干冰喷枪全面覆盖靶材清洁。一种靶材的清洗方法，通过本发明的清洗设备使用干冰对靶材进行清洁，实现全面覆盖靶材清洁，缩短清洗时间，有效去除靶材氧化物。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112452946 A (43)申请公布日 2021.03.09 (21)申请号 202011089333.8 (22)申请日 2020.10.13 (71)申请人 东莞市欧莱溅射靶材有限公司

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