原创力文档- 7
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- 2023-05-30 发布于四川
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描述了用于在等离子体室内温度的实时控制的系统和方法。该方法中的一者包含实时感测耦合至电压源的轨的电压。电压源供给电压至等离子体室的多个加热器元件。所感测的电压用于调整加热器元件中的对应的一或更多个的一或更多个工作周期。经调整的一或更多个工作周期促进随着时间的推移在等离子体室内实现和维持温度值。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112470247 A
(43)申请公布日 2021.03.09
(21)申请号 201980048660.8 (74)专利代理机构 上海胜康律师事务所 31263
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