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- 2023-05-30 发布于四川
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本申请提供一种研磨制品面内平整度的改善方法、装置、设备、介质，应用于研磨技术领域，其中，研磨制品面内平整度的改善方法，包括：根据获取的研磨耗材的使用寿命与研磨制品面内平整度之间的关系，得到初始面内控制列表；根据研磨耗材的厚度前值，对初始面内控制列表中的压力值进行补偿，得到修正面内控制列表；根据修正面内控制列表进行研磨。根据研磨耗材的使用寿命与所述研磨制品面内平整度之间的关系，得到初始面内控制列表，并根据研磨耗材的研磨前的厚度前值对初始面内控制列表中的压力进行修正，可以实现对于初始面内控制列表中的
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 115805517 A
(43)申请公布日 2023.03.17
(21)申请号 202211444434.1
(22)申请日 2022.11.18
(71)申请人 上海积塔半导体有限
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