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提供光轴调整治具以及激光加工装置的光轴确认方法,能够定量地判断激光束的光轴是否与被加工物垂直。光轴调整治具包含:平行平板(42),其在上表面(421)和下表面(422)形成有反射膜;以及拍摄单元(43),其配设于比平行平板(42)靠下方的位置,能够拍摄激光束,平行平板(42)由对于激光束的波长具有透过性的材料构成,使激光束经由平行平板(42)而入射到拍摄单元(43),根据拍摄单元(43)所拍摄的激光束的光束形状来检测激光束的光轴的倾斜度。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112439989 A
(43)申请公布日 2021.03.05
(21)申请号 202010914819.4
(22)申请日 2020.09.03
(30)优先权数据
2019-1624
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