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本发明涉及一种真空泵，其包括具有入口(14)和出口(15)的壳体(12)、布置在壳体(12)中以便将气态介质从入口(14)输送到出口(15)的转子(16、20)。此外，设置有用于使转子(16、20)旋转的马达(24)，并且设置有与马达(24)连接以控制马达(24)的控制装置(30)。设置有用于感测真空泵(10)的至少一个操作变量(42)的至少一个传感器(36、38)。传感器(36、38)连接至控制装置(30)。控制装置(30)具有相关模块(44)。相关模块(44)被设计为使感测到的操作变量(42
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112513469 A
(43)申请公布日 2021.03.16
(21)申请号 201980050911.6 (74)专利代理机构 北京银龙知识产权代理有限
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