连续精馏法生产电子级六氯二硅烷的方法.pdfVIP

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2023-05-31 发布于四川
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连续精馏法生产电子级六氯二硅烷的方法.pdf

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本发明公开了一种连续精馏法生产电子级六氯二硅烷的方法，包括以下步骤：S1：以多晶硅废料为原料生产六氯二硅烷粗料的步骤，所述六氯二硅烷粗料纯度75‑85％；S2：以六氯二硅烷粗料为原料生产电子级六氯二硅烷的步骤。使用本发明方法生产电子级六氯二硅烷，能生产出纯度99.95％以上，以金属元素含量计算纯度达到99.999‑99.99999％的高纯产品，达到欧美市场的要求，且工艺简单。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112479213 A (43)申请公布日 2021.03.12 (21)申请号 202011501755.1 (22)申请日 2020.12.18 (71)申请人武汉新硅科技潜江有限公司