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本发明涉及靶材绑定技术领域，公开了一种旋转靶材的绑定方法，其包括以下步骤：将背管表面金属化；将旋转靶坯表面金属化；将所述旋转靶坯套设在所述背管的外侧，所述背管和所述旋转靶坯之间形成有间隙，加热所述旋转靶坯和所述背管；将融化的绑定金属材料注入所述间隙中，并振动所述旋转靶坯；将所述旋转靶坯和所述背管进行降温处理，获得绑定好的靶材。本发明提供的旋转靶材的绑定方法能增加绑定率和靶材的均匀性。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112501567 A
(43)申请公布日 2021.03.16
(21)申请号 202011282203.6
(22)申请日 2020.11.16
(71)申请人 先导薄膜材料（广东）有限公司
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