原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明公开了一种基于脆性材料的激光切割方法及系统，涉及激光切割技术领域，所述方法包括：向目标工件施加激光热应力及引导力，并实时调整激光热应力及引导力的状态参数，以对目标工件进行切割，状态参数包括作用点位置、作用点方向及作用点强度；其中，激光热应力用于引起目标工件开裂，引导力用于引导目标工件的开裂方向，激光热应力与引导力的合力方向处于预设的切割路径上且激光热应力与引导力的合力强度大于目标工件的断裂强度，以使目标工件沿引导力的引导方向开裂。采用本发明，可实现切割过程中开裂方向的动态引导，使得硅晶圆芯
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 115781059 A
(43)申请公布日 2023.03.14
(21)申请号 202310079089.4
(22)申请日 2023.02.08
(71)申请人 佛山科学技术学院
地址 52800
文档评论（0）