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2023-05-31 发布于四川
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一种防壁面颗粒沉积的纳米颗粒生成装置.pdf

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本发明属于纳米颗粒生成装置相关技术领域，其公开了一种防壁面颗粒沉积的纳米颗粒生成装置。装置包括：燃烧室；设于燃烧室上部并与燃烧室贯通的输运管道；燃烧室和输运管道的内壁均间隙设有至少一个多孔套筒，每一多孔套筒的端部均通过隔板与燃烧室或输运管道密封连接，每一多孔套筒对应的燃烧室上均设有贯通燃烧室壁面的保护气入口；贯通燃烧室与多孔套管的载气或前驱体入口。通过输运管道内部设置多个相互隔离的多孔套筒，多孔套筒内部可以通入保护气，使得纳米颗粒不会与多孔套筒接触，进而不会粘粘附着着多孔套筒的表面。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112473554 A (43)申请公布日 2021.03.12 (21)申请号 202011406221.0 (22)申请日 2020.12.03 (71)申请人华中科技大学地址

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