一种圆形基板中心定位装置.pdfVIP

下载本文档

2
0
约1.05万字
约 13页
2023-05-31 发布于四川
举报
版权申诉

一种圆形基板中心定位装置.pdf

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明公开了一种圆形基板中心定位装置，涉及半导体加工技术领域，包括安装底座，所述安装底座上端安装有安装支架，所述安装支架外表面固定套接有固定底板，所述固定底板上端安装有三个气动滑动模块，三个所述气动滑动模块呈环形阵列分布，三个所述气动滑动模块上端均安装有弧形定位板，所述安装支架上端安装有定位限位板，所述定位限位板呈圆形结构，三个所述弧形定位板均位于定位限位板外侧，所述固定底板上端安装有感应探头模块，所述定位限位板上端开有感应探头检测口。本发明通过设置气动滑动模块、弧形定位板和定位限位板实现圆形硅

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115799143 A (43)申请公布日 2023.03.14 (21)申请号 202211587576.3 (22)申请日 2022.12.09 (71)申请人广东芯微精密半导体设备有限公司地址