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本发明公开了一种边界条件可调的腔室，包括石英管、坩埚、围绕石英管外围设置的电磁感应线圈、围绕石英管及电磁感应线圈外围设置的水冷罩；所述水冷罩的内层壳体、外层壳体均以隔离电磁辐射的材料制成。本发明提供的腔室采用若干组水冷环对石英管进行边界条件调节，水冷罩能够有效的隔离电磁线圈产生的电磁辐射，并通过调节水冷环中冷却水的流量调整对应的热场温度，构建适合晶体生长的多段温度梯度，从而提高晶体良率，同时也便于长晶工艺的定型。本发明还提供了具有上述腔室的长晶炉。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112501693 A
(43)申请公布日 2021.03.16
(21)申请号 202010999395.6
(22)申请日 2020.09.22
(71)申请人 南京晶升能源设备有限公司
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