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- 2023-06-01 发布于四川
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本发明公开了一种半导体固晶机工艺处理运输轨道，包括冷轨道组件，冷轨道组件具体包括点胶机构和支架治具模组，支架治具模组的外壁设置有真空吸附装置，以驱使工件保持贴合于支架治具模组的外壁；可卡接于冷轨道组件外壁的热轨道组件，热轨道组件具体包括上锡机构和加热轨道模组，加热轨道模组内部设置有多温区控制模块，加热轨道模组被装配用于驱使工件温度保持变化。该发明提供的半导体固晶机工艺处理运输轨道，冷轨道组件通过点胶CCD检测模组对料片各分一半进行双固晶位的检测，且进行点胶工作或画胶工作；热轨道组件通过加热轨道模
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116190281 A
(43)申请公布日 2023.05.30
(21)申请号 202310442848.9 B05C 5/02 (2006.01)
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