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本发明公开了一种基于ZnO/Al荷壳纳米线的等离激元激光器及其制备方法，等离激元激光器包括单根ZnO纳米线、Al壳层膜；制备方法包括如下步骤：在Si衬底上用气相沉积法生长ZnO纳米线阵列；用射频磁控溅射法在ZnO纳米线阵列上溅射Al壳层膜；将ZnO/Al纳米阵列放置在无水乙醇中进行超声，取超声后的溶液滴加在干净的石英片上进行烘干，便形成分散性好的等离激元激光器。本发明通过简单的气相沉积方法和射频磁控溅射方法，优化溅射时间，可在ZnO纳米线阵列上生长不同厚度、表面光滑均一的Al壳层膜，制备的ZnO
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112563881 B
(45)授权公告日 2022.02.11
(21)申请号 202011361347.0 H01S 5/30 (2006.01)
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