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曝光装置.pdfVIP

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  • 2023-06-01 发布于四川
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曝光装置.pdf

    曝光装置具有圆筒形状的周壁部件。周壁部件形成能够收容衬底的处理空间并且具有上部开口及下部开口。而且，在周壁部件的上部，以盖住上部开口的方式设置着光出射部。在周壁部件的下方设置着下盖部件，所述下盖部件设置成能够沿上下方向移动且能够封闭及打开下部开口。以在处理空间内收容有衬底且下部开口被下盖部件封闭的状态，用惰性气体置换处理空间内的环境气体。该状态下，真空紫外线从光出射部出射到衬底，衬底被曝光。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112526827 A (43)申请公布日 2021.03.19 (21)申请号 202010960098.0 (22)申请日 2020.09.14 (30)优先权数据

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