一种二硫化钼薄膜辅助的热光调制器.pdfVIP

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2023-06-01 发布于四川
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一种二硫化钼薄膜辅助的热光调制器.pdf

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本发明涉及一种二硫化钼薄膜辅助的热光调制器，包括二硫化钼薄膜、微环谐振腔、总线波导以及两个金属电极，其特征在于二硫化钼薄膜覆盖于微环谐振腔的上表面，两个金属电极分别覆盖在微环谐振腔内外两侧的二硫化钼薄膜上；微环谐振腔与总线波导之间通过侧向耦合方式进行信号光的耦合。在两个金属电极上施加电偏压，二硫化钼薄膜中产生焦耳热，并热传导到微环谐振腔上；根据热光效应，微环谐振腔的谐振波长发生移动；通过移动微环谐振腔的谐振波长，使其与信号光波长重合与否，可实现信号光在总线波导输出端的输出光功率变化，从而实现调制

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112526771 A (43)申请公布日 2021.03.19 (21)申请号 202011251586.0 (22)申请日 2020.11.11 (71)申请人西北工业大学地址