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低气压管式放电等离子体及制备非晶 一、低气压管式放电等离子体 低气压管式放电等离子体是一种基于气体放电原理的非热等离子体体系，其主要特点是气压低于1 atm。该等离子体一般以惰性气体（如氦、氩等）为工作气体，通过电场刺激气体分子或原子，产生等离子体。低气压管式放电等离子体广泛应用于物理、化学、医学等领域，如等离子体喷涂技术、等离子体清洗技术、等离子体医学治疗等。 低气压管式放电等离子体结构包括放电室、电极、气体进出口、真空系统和电源等组成，如图1所示。  低气压管式放电等离子体的工作原理如下：首先，在真空室中制备所需气体；其次，加入高频电源，在电极上形成交变电场，导致气体中电荷的分离，形成等离子体；最后，等离子体在电场的作用下，发生各种物理和化学反应，达到预期的作用。 二、制备非晶 非晶是指材料在冷却过程中没有充分晶化或者仅部分晶化的材料。相对于晶体而言，非晶的结构更为杂乱，不存在长程有序，具有诸多特殊的物性，如高硬度、低热膨胀系数、高瑞利散射等，已被广泛应用