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本发明公开了一种基于MEMS技术的压电式柔性超声换能器及制备方法，该压电式柔性超声换能器包含柔性基底，柔性基底上设置一层底电极，底电极上设置一层压电层，压电层上设置多个表电极，所述多个表电极被划分为两组，每组中的各表电极之间通过导电引线电性连接，且各组的表电极上分别电性连接一根信号输出线，每组的其中一个表电极上分别设置有声阻抗匹配层。本发明中超声换能器具有柔性基底，柔韧性好，应用范围广，采用溅射技术直接生成金属掺杂的ZnO压电薄膜作为压电层，工艺简单，各表电极制作在同一压电层上，制作工艺简单，并
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112604930 A
(43)申请公布日 2021.04.06
(21)申请号 202011327309.3
(22)申请日 2020.11.24
(71)申请人 光奥科技（武汉）有限公司
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