课件：传感器第三章.ppt

第三章　电阻式传感器 第一节　电阻应变片式传感器 一、电阻应变片的结构、工作原理 二、应变片参数 三、选择、使用要求 四、测量电路 五、温度误差及补偿 六、应用 第二节　气敏与湿敏电阻传感器 一、气敏电阻传感器 二、湿敏电阻传感器 本章小结 1 本章小结 2 　氢气、硫化氢 　150 ℃ 　铂栅 MOS 场效应管 　晶体管特性 　氢气、一氧化碳、酒精 　室温 ~ 200 ℃ 　铂/硫化镉、铂/氧化钛 　二极管整流特性　 乙 醇 室 温 氧化银 表面电位 非 电 阻 式 第二节?气敏与湿敏电阻传感器 　　4．组成结构 　　（1）表面型半导体气敏传感器 　　其结构组成如右图所示。 第二节?气敏与湿敏电阻传感器 　　这是一种利用半导体表面在吸附气体时半导体元件电阻值发生变化的特性制成的传感器件。 　　下图为该器件的外形结构及测量电路。 第二节?气敏与湿敏电阻传感器 　　（2）非电阻式半导体气体传感器 　　　钯 – MOS 二极管敏感元件　　　应用光电动势作用的钯 – MOS 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　二极管敏感元件 第二节?气敏与湿敏电阻传感器 　　以钯、铟等金属薄膜形成的 MOS 二极管传感器及钯/硫化隔二极管传感器，均可以用来检测氢气的浓度。 　　5．应用及电路配置 　　（1）可燃气体检测器 　　采用 QN 型气敏半导体传感器进行测量。其测量电路如右图