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本发明提供一种驱动基板及制作方法、显示面板,制作方法包括:提供衬底;形成遮光层于所述衬底一侧的表面上;提供掩膜版,所述掩膜版层叠于所述遮光层上方,所述掩膜版包括若干镂空区;干法蚀刻所述遮光层形成若干斜向开槽和若干第一遮光单元,每一斜向开槽与每一镂空区对应,每一第一遮光单元具有靠近所述衬底的第一侧边的倾斜侧壁;移动掩膜版,以使每一第一遮光单元靠近所述衬底的第一侧边的倾斜侧壁自对应的镂空区中露出;以及干法蚀刻所述倾斜侧壁,形成第二遮光单元;其中,所述第二遮光单元的剖面形状为正梯形结构。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112599478 A
(43)申请公布日 2021.04.02
(21)申请号 202110052271.1
(22)申请日 2021.01.15
(71)申请人 苏州
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