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一种氮化镓反应釜的分部清洗装置及分部清洗方法.pdfVIP

一种氮化镓反应釜的分部清洗装置及分部清洗方法.pdf

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    本发明公开了一种氮化镓反应釜的分部清洗装置及分部清洗方法，属于一种清洗装置和清洗方法，分部清洗装置用于清洗至少具有釜盖和釜体的反应釜，包括清洗模组和管路系统，所述清洗模组至少包括若干用于清洗釜体的釜体清洗部、以及若干用于清洗釜盖的釜盖清洗部，所述管路系统将反应溶液、水和高温气体依次地分别通入釜体清洗部和釜盖清洗部，以釜体清洗部中的釜体和清洗釜盖清洗部中的釜盖；解决了现有技术的清洗装置无法满足大尺寸的反应釜的清洗需求的问题。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112620270 A (43)申请公布日 2021.04.09 (21)申请号 202011427308.6 (22)申请日 2020.12.07 (71)申请人 国镓芯科（深圳）半导体科技有限公

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