一种光学Tamm态增强型石墨烯光电探测器及其制备方法.pdfVIP

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  • 2023-06-03 发布于四川
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一种光学Tamm态增强型石墨烯光电探测器及其制备方法.pdf

本发明涉及一种光学Tamm态增强型石墨烯光电探测器,该光电探测器包括自下而上依次堆叠的P型高掺硅片(1)、金属反射镜(2)、绝缘层(3)、光敏层和漏源电极(4)、介质保护层(5)和介质布拉格反射镜(6),所述的光敏层(4)为二维材料或有机光电薄膜,包括石墨烯、二硫化钼、黑磷等、钙钛矿、量子点薄膜。本发明利用光学Tamm态将石墨烯的光吸收能力提升了26倍(从2.3%提升至60%),解决了纯石墨烯光电探测器光响应率低的问题(从0.6mA/W提升至30mA/W);通过改变结构参数(金属反射镜材料,介质

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112652669 A (43)申请公布日 2021.04.13 (21)申请号 202011551857.4 (22)申请日 2020.12.24 (71)申请人 上海师范大学 地址

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