原创力文档- 4
- 0
- 约1.41万字
- 约 12页
- 2023-06-03 发布于四川
- 举报
本申请提供一种痕量气体分析装置以及方法，其中，装置包括：采样管、采样室、气体分析单元、吸附单元、真空泵单元以及监测采样室真空度的真空计；采样管的出气口与采样室的进气口连通，采样管的进气口用于连通工艺腔室的出气口，工艺腔室输出的待测气体以分子流的流动状态经采样管输送至采样室；采样室的出气口与气体分析单元的进气口、吸附单元的进气口和真空泵组的抽气口分别连通。本申请待测气体以分子流的流动状态输送至采样室，从而消除了痕量气体采样时的分子歧视效应，痕量气体以外的气体被吸附单元吸附了，采样室内的痕量气体的分
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 111896677 A
(43)申请公布日 2020.11.06
(21)申请号 202010544161.2
(22)申请日 2020.06.15
(71)申请人 中国科学院微电子研究所
文档评论（0）