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本发明提供一种脱除光刻胶剥离液中非游离态树脂的系统和方法。所述系统包括过滤装置,所述过滤装置包括至少一个过滤器,用于过滤待处理的废剥离液中的非游离态树脂,所述过滤器中从上至下设置有一级滤芯和二级滤芯,所述二级滤芯中设有电加热单元,所述电加热单元为可通电发热的电阻丝,用于对流经所述二级滤芯的所述废剥离液加热,使所述废剥离液中的非游离态树脂析出在所述二级滤芯上。所述系统能够实现在线连续运行,工艺参数可控、装置稳定性高,低成本、易操作,且脱除后的剥离液中杂质含量显著降低,有利于后续剥离液精馏再生提纯工
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112642211 A
(43)申请公布日 2021.04.13
(21)申请号 202011436906.X
(22)申请日 2020.12.10
(71)申请人 世源
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