1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

一种单片集成二维磁场传感器及其制作工艺.pdfVIP

  • 1
  • 0
  • 约2.06万字
  • 约 15页
  • 2023-06-03 发布于四川
  • 举报

一种单片集成二维磁场传感器及其制作工艺.pdf

    本发明公开了一种单片集成二维磁场传感器及其制作工艺，所述传感器包括第一硅片(1)和第二硅片(2)，在第一硅片(1)上设置有用于检测二维磁场的四个硅磁敏三极管，其中两个硅磁敏三极管在xy平面内沿y轴、相反磁敏感方向对称设置，用于x轴方向磁场分量的检测，另两个硅磁敏三极管在xy平面内沿x轴、相反磁敏感方向对称设置，用于y轴方向磁场分量的检测；并且，在第一硅片上、每个硅磁敏三极管周围制作有隔离环(11)。所述制作工艺结合微电子机械加工技术和双极型工艺，实现了所述单片集成化传感器芯片的工艺制作。本发明所

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 107356885 A (43)申请公布日 2017.11.17 (21)申请号 20171

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >