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本发明涉及一种动态压弯调节装置及动态稳定微米聚焦系统,包括柔顺机构,支撑于其底部的两个安装座上,自安装座的上表面设置有垂直向上延伸的调节板;两个支撑架,分别固定在柔顺机构顶部的两侧;两个连接件,分别与调节板的自由端相连并沿垂直且远离安装座的表面延伸;两个微位移驱动器,分别固定在两个支撑架上且侧壁分别与两个连接件触接;两个反射镜夹持件,分别固定在两个安装座的底面;掠入射反射镜,其两端分别夹设在反射镜夹持件与安装座之间。本发明的动态压弯调节装置及动态稳定微米聚焦系统,利用柔顺机构对掠入射反射镜两端施
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112635095 B
(45)授权公告日 2022.07.19
(21)申请号 202011447011.6 CN 104900293 A,2015.09.09
(22)申请日 20
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