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一种单晶硅炉用加热器SiC-ZrC-BN复合涂层及制备方法.pdfVIP

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  • 2023-06-03 发布于四川
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一种单晶硅炉用加热器SiC-ZrC-BN复合涂层及制备方法.pdf

    本发明公开了一种单晶硅炉用加热器SiC‑ZrC‑BN复合涂层及制备方法，制备方法包括如下步骤：将Si粉、Zr粉、氮化硼粉、石墨粉和ZrO2粉放入球磨机中研磨，得到混合粉体；将单晶硅炉用加热器的加热部件置于石墨盒中，将混合粉末覆盖加热部件；将石墨盒置于真空炉中进行包埋渗处理，得到所述SiC‑ZrC‑BN复合涂层。本发明通过对加热器发热体增加SiC‑ZrC‑BN复合涂层，降低了富硅气氛对发热体的侵蚀，通过控制涂层的成分提高涂层与发热体的结合力以及涂层的抗热震性，避免生产过程中污染单晶硅，提高单晶硅质

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112645711 A (43)申请公布日 2021.04.13 (21)申请号 202011544365.2 C04B 35/56 (2006.01)

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