原创力文档- 2
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- 2023-06-03 发布于四川
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一种用于晶片衬底片的金刚石研磨液，其属于精细化工技术领域。该研磨液中醇醚有机溶剂的加入，使该研磨液的表面张力降低，增加了润湿渗透能力。多功能金属离子捕捉剂的分子结构中含有酰胺官能团，酰胺键与一个氧原子相连。金属离子捕捉剂与有机溶剂的协同作用可显著降低研磨屑对晶片表面以及边缘的吸附力，易被冲洗，避免将研磨屑带入去蜡槽。并且采用高性能的分散剂对金刚石微粉进行均匀分散，是研磨液具有良好的分散稳定性。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112646550 B
(45)授权公告日 2022.03.18
(21)申请号 202011548272.7 审查员 姜小青
(22)申请日 2020.12.23
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