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本申请公开一种测量气体流量和VOC浓度的传感器，包括膜式流量传感器主体结构，还包括位于所述流量传感器主体结构上的电容结构以及覆盖在所述电容结构上的金属氧化物薄膜，所述流量传感器包括基板、位于基板的悬浮薄膜，设置在悬浮薄膜上的加热电阻和至少一组位于加热电阻外侧的测温电阻，所述加热电阻上方覆盖有绝缘薄膜，所述电容结构位于所述绝缘薄膜上方。本申请测量气体流量和VOC浓度的传感器，通过整体结构的设计将气体流量传感器和VOC浓度传感器集成一体，同时可以实现对测量气体流量和VOC气体浓度，实现集成化和小型化
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 115773795 A
(43)申请公布日 2023.03.10
(21)申请号 202211480358.X C23C 16/50 (2006.01)
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