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晶体生长炉及籽晶更换方法.pdfVIP

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  • 2023-06-03 发布于四川
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晶体生长炉及籽晶更换方法.pdf

    本发明涉及一种晶体生长炉及籽晶更换方法，晶体生长炉包括炉室、籽晶承载件、位置操纵机构和更换辅助件。籽晶承载件位于炉室，包括中空杆和与中空杆连接且连通的籽晶夹头，中空杆用于容置沿着其长度方向依次层叠设置的多个籽晶，籽晶夹头用于夹持籽晶；位置操纵机构活动设置于机构操纵区内；更换辅助件位于机构操纵区内。本发明的优点在于：沿着中空杆的长度方向，中空杆内可以依次层叠设置多个籽晶，籽晶夹头也能夹持一个籽晶，从而通过结构较为简单的籽晶承载件来实现在晶体生长炉的炉室内放置多个籽晶。而且，在籽晶承载件所能携带的籽

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115491757 A (43)申请公布日 2022.12.20 (21)申请号 202211442721.9 (22)申请日 2022.11.18 (71)申请人 浙江晶盛机电股份有

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