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本发明提供用于在将基板和掩模对准之后使基板和掩模紧贴时应对基板保持机构与掩模保持机构的相对姿势变化的技术。使用成膜装置，该成膜装置具备：支承基板的基板保持机构；与基板大致平行地支承掩模的掩模保持机构；使基板保持机构和掩模保持机构中的至少一方移动而使平面内的基板与掩模的相对位置关系变化的面内移动机构；通过使基板保持机构和掩模保持机构中的至少一方相对于另一方移动而使基板与掩模的距离变化的距离变化机构；获取基板保持机构相对于掩模保持机构的姿势信息的姿势信息获取机构；以及基于姿势信息来控制基板保持机构与
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112626475 A
(43)申请公布日 2021.04.09
(21)申请号 202010303197.1 C23C 14/54 (2006.01)
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