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处理装置、装置管理控制器、处理系统、记录介质、半导体器件的制造方法以及显示方法.pdfVIP

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  • 2023-06-03 发布于四川
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处理装置、装置管理控制器、处理系统、记录介质、半导体器件的制造方法以及显示方法.pdf

    本发明提供一种处理装置、装置管理控制器、处理系统、记录介质、半导体器件的制造方法以及显示方法。其技术课题为，容易地掌握处理装置可否稳定地运转。解决手段为：提供了如下结构，至少具有：对构成装置的结构部件的状态进行监视的部件管理控制部、对从构成装置的结构部件的动作状态得到的装置数据的健全性进行监视的装置状态监视控制部、对从工厂设备提供给装置的设备数据进行监视的数据匹配控制部，基于从由部件管理控制部所获取的保养时期监视结果数据、装置状态监视控制部所获取的装置状态监视结果数据和数据匹配控制部所获取的用力

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112652556 A (43)申请公布日 2021.04.13 (21)申请号 202011525706.1 (74)专利代理机构 北京市金杜律师事务所

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