高性能硅基MEMS热式风速传感器.docx

高性能硅基MEMS热式风速传感器 I. 简介 微机电系统（MEMS）已成为许多应用领域中的极具潜力的技术。其中，热式风速传感器作为MEMS传感器的一种，具有体积小、快速响应、高灵敏度、低功耗等优点，被广泛应用于空气动力学、天气监测、车载气流测量等领域。 本文设计了一种高性能硅基MEMS热式风速传感器，主要研究了传感器的结构设计、工艺制备和性能测试等方面，包括传感器的结构设计、微加工工艺制备、热仿真分析以及风速测试等，为MEMS热式风速传感器的开发提供参考。 II. 传感器结构设计 本文设计的MEMS热式风速传感器采用热薄膜测量原理，将风速转化为冷却膜的热阻变化来测量。传感器的结构设计如图1所示。  图1 传感器结构图 其中，传感器采用双层叉形结构，上层为悬臂梁和叉形结构，下层为加热电极和温度感应电极。当空气流入叉形结构时，流动会带走悬臂梁和叉形结构上的热量，下层的温度感应电极会测量到相应的温度变化，从而测量出空气的流速。而加热电极则提供温度差以及空气流入前的基准温度。 为提高传感器的灵敏度和响应速度，本文采用了双层金属膜结构，即在双层硅膜间加上一层薄金属膜，该金属膜可增强传感器的热响应。同时，采用了微纳加工技术制备出了传感器的结构。具体过程如下。 III. 微加工工艺制备 传感器制备采用了基于硅微纳加工技术的MEMS工艺。制备步骤如下： 1. 运用激光图形绘制软件，绘制出传感器的结构图。 2. 利用电子束光阻制备出薄膜结构。 3. 利用反应离子刻蚀技术，在薄膜内刻出图案。 4. 利用PECVD（Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition）技术和高温氧化工艺在薄膜上和薄膜中间分别生长出二氧化硅和氧化硅。 5. 利用 DC 磁控溅射技术在薄膜上面以及下层加热电极处分别沉积NiCr的材料薄层，得到金属薄膜。 通过上述加工工艺，成功合成了MEMS热式风速传感器的结构，并进一步进行了性能测试。 IV. 热仿真分析 本文采用有限元分析软件COMSOL对传感器的热响应进行仿真分析。仿真结果如图2所示。  图2 热仿真分析 仿真结果表明，当风速为0时，传感器的温差最大，随着风速的增大，传感器的温差逐渐减小，说明传感器能够准确检测出风速的大小。 V. 风速测试 本文采用风洞测试系统对MEMS热式风速传感器进行风速测试。测试结果如图3所示。  图3 风速测试结果 测试结果表明，当测试风速在0-10m/s之间时，传感器的输出信号随风速的增大而增大，且传感器的灵敏度高、响应速度快、测量精度高，能够满足MEMS热式风速传感器在各种领域的应用需求。 VI. 总结 本文设计了一种高性能硅基MEMS热式风速传感器，采用基于硅微纳加工技术的MEMS制备技术，设计了双层叉形结构，并利用有限元分析软件对传感器进行了热仿真分析，进一步进行了风速测试。测试结果表明，该传感器具有灵敏度高、响应速度快、测量精度高等优点，适用于MEMS热式风速传感器在各种领域的应用。