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制备陶瓷粉末的装置.pdfVIP

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  • 2023-06-04 发布于四川
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制备陶瓷粉末的装置.pdf

    一种制备陶瓷粉末的装置，包括：反应腔；位于反应腔顶部的等离子体发生腔，所述等离子体发生腔与反应腔相连通；位于反应腔内底部的坩埚，所述坩埚用于承载反应物料；从等离子体发生腔顶部贯穿并延伸至等离子体发生腔内的进料管，所述进料管用于向坩埚内传输反应物料；高频电源，所述高频电源与等离子体发生腔电连接，所述高频电源用于在等离子体发生腔内生成等离子体；与反应腔相连通的沉降室；位于沉降室底部的收集罐，所述收集罐与沉降室相连通；与沉降室相连通的真空泵，所述真空泵用于使反应腔保持真空状态。所述装置制备的氮化铝纳米

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116196865 A (43)申请公布日 2023.06.02 (21)申请号 202111458692.0 C04B 35/581 (2006.01)

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