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- 2023-06-04 发布于四川
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本发明涉及一种体声波谐振器组件及其制造方法，该组件包括：设置在基底上的相邻的两个体声波谐振器，所述相邻的两个体声波谐振器的底电极包括彼此电连接的第一底电极和第二底电极，第一底电极与第二底电极之间限定有声学镜空腔；以及共用释放孔，所述相邻的两个体声波谐振器的声学镜空腔经由相应的释放通道与所述共用释放孔相通，其中：在通过所述共用释放孔以及与所述共用释放孔相通的释放通道的、与所述组件的厚度方向平行的截面中，相邻的两个体声波谐振器的底电极彼此间隔开。本发明还涉及一种滤波器和一种电子设备。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116208113 A
(43)申请公布日 2023.06.02
(21)申请号 202310078378.2
(22)申请日 2023.01.19
(71)申请人 诺思 （天津）微系统有限责任公司
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