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深紫外正型光刻胶成膜树脂及其制备方法.pdfVIP

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  • 2023-06-04 发布于四川
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深紫外正型光刻胶成膜树脂及其制备方法.pdf

    本发明涉及一种深紫外正型光刻胶成膜树脂及其制备方法。本发明以羟基苯乙烯与N‑取代马来酰亚胺类化合物共聚制得的共聚物，其分子链中含有大量的苯环和五元杂环结构，使聚合物具有优异的耐高温性能；同时侧链中存在大量的酚羟基，其可溶于碱性水溶性显影剂，为其作为光刻胶成膜树脂提供了可行性。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112694555 A (43)申请公布日 2021.04.23 (21)申请号 202011567493.9 (22)申请日 2020.12.25 (71)申请人 苏州

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