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一种在电气部件与电子部件之间形成互连的方法包括:提供电子部件,所述电子部件包括第一主面和设置在所述第一主面上的第一金属层;提供电气部件,所述电气部件包括第二主面和设置在所述第二主面上的第二金属层;其中,所述第一金属层或所述第二金属层中的至少一个包括提供在其主面上的氧化物层;在所述电子部件和所述电气部件中的一个或两个上设置还原剂,使得所述还原剂能够去除所述氧化物层;以及通过施加压力和热将所述电子部件的所述第一金属层与所述电气部件的所述第二金属层直接连接,来将所述电子部件连接到所述电气部件。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112670238 A
(43)申请公布日 2021.04.16
(21)申请号 202011102989.9
(22)申请日 2020.10.15
(30)优先权数据
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